4200-SCS是一款能進行器件、材料或過程電氣特性分析的模塊化全集成參數(shù)分析儀。利用9個測量槽和內(nèi)置低噪聲接地單元，您可以根據(jù)測試要求或預算限制進行精密配置。
4200-SCS型半導體特性分析系統(tǒng)- 集成前沿的脈沖能力和精密DC測量，用于65nm節(jié)點及更小尺寸，容易使用的4200-SCS型半導體特性分析系統(tǒng)用于實驗室級的器件直流參數(shù)測試、實時繪圖與分析，具有高精度和亞f的分辨率。它提供了的系統(tǒng)集成能力，包括完整的嵌入式PC機，Windows操作系統(tǒng)與大容量存儲器。其自動記錄、點擊式接口加速并簡化了獲取數(shù)據(jù)的過程，這樣用戶可以更快地開始分析測試結(jié)果。其它一些特征使得應力測量功能能夠滿足各種可靠性測試的需求。 可選儀器：
* 4225-PMU超快I-V模塊
* 4220-PGU脈沖發(fā)生器單元（僅電壓源）
* 4225-RPM遠程放大器/開關
* 4200-SMU中等功率源測量單元
* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源測量單元
* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA遠程前置放大器選件
* 4200-SCP2雙通道示波器卡
* 4200-SCP2HR 200MS雙通道示波器卡
超快I-V應用套件：
* 4225-PMU超快I-V模塊
直觀的、點擊式Windows操作環(huán)境 - * 的遠端前置放大器，將SMU的分辨率擴展至 0.1fA
- * 用于高級半導體測試的新型脈沖與脈沖式I-V功能
- * 集成了示波與脈沖測量功能的新型示波卡
- * 內(nèi)置PC提供快速的測試設置、強大的數(shù)據(jù)分析、制圖與打印、以及測試結(jié)果的大容量存儲
- * 的瀏覽器風格的軟件界面，根據(jù)器件的類型來安排測試，可以執(zhí)行多項測試并提供測試序列與循環(huán)控制功能
- * 內(nèi)置了Stress/Measure，循環(huán)和數(shù)據(jù)分析功能，通過鼠標點擊方式就可進行可靠性測試，包括5個JEDEC規(guī)范的樣品測試
- * 支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開關矩陣與Agilent 81110脈沖發(fā)生器等多種外圍設備
- * 硬件由 Keithley交互式測試環(huán)境（KITE）來控制，用戶測試模塊功能，可用于外接儀表控制與測試平臺集成，是KITE功能的擴充
- * 包括驅(qū)動軟件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自動和手動探針臺
- * 支持的半導體模型參數(shù)提取，包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso
