便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G-用于晶圓表面質(zhì)量檢測
便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G采用了36w的高功率led作為光源，能夠發(fā)出570-580nm的黃綠光，光斑均勻，產(chǎn)品輕便，可以手持著檢查產(chǎn)品表面的顆粒物、劃痕、手印等產(chǎn)品缺陷，也可以配合臺式支架作為臺式表面檢查燈進(jìn)行長時間檢查。
堅固耐用、維護(hù)成本低的便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G進(jìn)行光學(xué)晶圓檢測，與 100 瓦高壓汞燈相比，具有以下優(yōu)勢：
1.輕便：沒有繁重電源箱，手持操作，方便快捷。
2.省時：即可即用，無需等待。
3.經(jīng)濟(jì)：光源壽命長達(dá)50000小時，無須頻繁更換燈泡。
4.光斑均勻，檢查效率高，減少漏檢。
5.安全：長時間運(yùn)行，不發(fā)燙，沒有燙傷危險。
6.高效：led光源，發(fā)光效率高，節(jié)省能源。
7.光譜純正：不會產(chǎn)生紫外線。
上圖:交流供電的便攜式表面檢查燈LUYOR-3325G
哪些類型的晶圓可以用黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G檢查？
半導(dǎo)體和芯片制造中的晶圓檢測
太陽能行業(yè)和光伏發(fā)電的晶圓測試
所有晶圓尺寸的視覺晶圓表面測試：25mm（1英寸）、38mm（1.5英寸）、51mm（2英寸）、75mm（3英寸）、100mm（4英寸）、125mm（5英寸）、150mm（6英寸）、200mm（8英寸）、300mm（12英寸）、450mm（18英寸）
外延晶圓的檢測
單晶硅片和多晶晶片的光學(xué)測試
硅片表面的目視測試
也可以檢查方形晶圓
原晶圓和結(jié)構(gòu)化晶圓的測試
外延晶圓（EPI晶圓）和SOI晶圓表面分析
用黃光燈測試金晶圓
使用紫外燈目視檢查晶體硅片
所有材料晶圓的光學(xué)表面檢測：硅、鍺、碳化硅、砷化鎵、藍(lán)寶石、玻璃等。
SEMI標(biāo)準(zhǔn)晶圓的目視檢測
鍵合晶圓、膠帶晶圓的質(zhì)量檢查
視覺晶圓檢測也適用于裸晶圓、薄晶圓和扇出晶圓
強(qiáng)曲面晶圓（eLWB等）的光學(xué)質(zhì)量控制和檢測等。
上圖：電池供電款表面檢查燈LUYOR-3325GD
顆粒檢測-減少晶圓生產(chǎn)/半導(dǎo)體生產(chǎn)中的污染
除了晶圓檢測過程中的目視表面檢測，即通過黃光燈或綠光燈進(jìn)行部分自動化的晶圓檢測外，許多半導(dǎo)體制造商還有進(jìn)一步的要求：
使用測試燈檢查系統(tǒng)中的顆粒污染
使用黃光表面檢查燈或UV-LED紫外線燈進(jìn)行粒子檢測
晶圓生產(chǎn)過程中潔凈室中質(zhì)量控制的顆粒檢查
搜索并查找用于清潔半導(dǎo)體生產(chǎn)中機(jī)器的顆粒
在持續(xù)的質(zhì)量控制過程中清潔和保持生產(chǎn)設(shè)備的清潔
在大多數(shù)情況下，顆粒檢測只能通過人工檢查進(jìn)行，因此可以使用便攜式表面檢查燈、綠燈或紫外線燈進(jìn)行檢查。
上圖：表面檢查燈LUYOR-3325G檢查晶圓表面顆粒物
上圖：表面檢查燈LUYOR-3325G檢查玻璃屏幕的劃痕和顆粒物
