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離子濺射儀原理及常見故障

   2022年03月22日 13:42  
  離子濺射儀是一種鍍膜裝置,能夠被掃描電鏡、電子探針等儀器用來對試樣進行制備,是教學科研實驗得以開展的儀器。離子濺射儀擁有緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。其原理是以荷能正離子對靶電極轟擊使得濺射現(xiàn)象產(chǎn)生為基礎(chǔ),在基臺上樣品表面靶被濺射出來的中性原子沉淀成膜,使得導電層形成。
 
  離子濺射儀通常為二級結(jié)構(gòu),通過臺和樣品架為正電極連接儀器外殼并且接地,負電極(加負高壓)為濺射靶電極。真空腔在玻璃罩內(nèi)安裝好后,當腔內(nèi)達到一定的真空度,在電場加速下得到充足的能量后,對負電極上的靶面進行轟擊,靶面被濺射后,原子在基臺的樣品表面沉淀形成導電膜。
 
  離子濺射儀常見故障:
 
  1.使用一段時間后,濺射電流變?。簩Π胁挠袩o變色、破裂和油污等現(xiàn)進行檢查,若是靶材變色或破裂,要對靶材進行更換;若是有油污,則用無水乙醇進行清潔,等到干了以后才能夠抽真空;
 
  2.在使用一段時間以后,有著過低的真空:檢查濺射室中或管道內(nèi)是否有油,可以使用汽油進行清洗;
 
  3.濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低:陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離,將陰極罩逆時針旋轉(zhuǎn),對間距進行調(diào)整;
 
  4.過低的真空:將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊;
 
  5.真空泵出現(xiàn)反油現(xiàn)象:機械真空泵長期保持極限真空。

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