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X射線熒光光譜儀(XRF，是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法。X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)X射線。這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法醫(yī)學(xué)，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫和壁畫。
XRF用的是物理原理來檢測(cè)物質(zhì)的元素，可進(jìn)行定性和定量分析。即通過X射線穿透原子內(nèi)部電子，由外層電子補(bǔ)給產(chǎn)生特征X射線，根據(jù)元素特征X射線的強(qiáng)度，即可獲得各元素的含量信息。這就是X射線熒光分析的基本原理。它只能測(cè)元素而不能測(cè)化合物。但由于XRF是表面化學(xué)分析，故測(cè)得的樣品必須滿足很多條件才準(zhǔn)，比如表面光滑，成分均勻。如果成分不均勻，只能說明在XRF測(cè)量的那個(gè)微區(qū)的成分如此，其他的不能表示。
XRF的優(yōu)點(diǎn)如下：
1、分析速度高。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2-5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部元素。
2、非破壞性。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
3、分析精密度高。
4、制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
5、測(cè)試元素范圍大，WDX可在ppm-100%濃度下檢測(cè)B5-U92，而EDX可在1ppm-100ppm下檢測(cè)大多數(shù)元素，Na11-U92。此外還可以檢測(cè)Cu合金中的Be含量。
6、可定量分析材料元素組成，分辨率高，探針尺寸為500μm (WDX), 75μm (EDX)。
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