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Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 應(yīng)用于硬盤 GMR 磁頭

來源: 伯東企業(yè)(上海)有限公司    2023年01月05日 14:25  

硬盤磁頭, 是硬盤讀取數(shù)據(jù)的關(guān)鍵部件, 磁頭的好壞在很大程度上決定著硬盤盤片的存儲密度.

 

GMR 磁頭的使用了磁阻效應(yīng)更好的材料和多層薄膜結(jié)構(gòu), 這比以前的傳統(tǒng)磁頭和MR(Magneto Resisive)磁阻磁頭更為敏感, 相對的磁場變化能引起來大的電阻值變化, 從而實(shí)現(xiàn)更高的存儲密度.

 

某硬盤磁頭制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 應(yīng)用于硬盤磁頭鍍制GMR磁頭導(dǎo)電材料和磁性材料薄膜構(gòu).

 

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 技術(shù)參數(shù)

離子蝕刻

Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片

Φ5 inch X 10片

Φ6 inch X 8片

均勻性

±5%

硅片刻蝕率

20 nm/min

樣品臺

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源

 

Hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE-J 的核心構(gòu)件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

 

Hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE-J 的樣品臺可以 0-90 度旋轉(zhuǎn), 實(shí)現(xiàn) GMR 磁頭均勻地接受離子的轟擊, 進(jìn)而實(shí)現(xiàn)提高 GMR 磁頭的加工質(zhì)量.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生        


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