美國ALICAT真空應用質量流量控制器主要應用于需要有截止功能應用的場合，如真空鍍膜及磁控濺射工藝，這個閥是常閉閥，擁有極低的泄漏率。

一、美國ALICAT真空應用質量流量控制器產品特點

1、50毫秒內完成穩(wěn)定的控制響應

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值?？焖佟⒖芍貜?、穩(wěn)定！

擁有可靠的穩(wěn)定性及響應速度，艾里卡特?質量流量控制器總是一擊擊中，為zui快的質量流量控制器！采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合，使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼。

2、操作便捷

?     50-100毫秒控制響應

?     允許用戶自行調節(jié)PID以獲得zui*的速度和穩(wěn)定性

?     定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

?     同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力

?     瞬間啟動、無需預熱：1秒內即可開始流量控制

二、美國ALICAT真空應用質量流量控制器產品系列

MC 標準系列

控制響應zui快、zui穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

zui大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航空航天、環(huán)境氣體分析等應用的*選擇；zui大量程：0-500 slpm。點擊這里了解更多關于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導體行業(yè)系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ，專門用于真空應用?？啥ㄖ葡鄳姆栏g系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業(yè)系列

MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

*雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列

三、美國ALICAT真空應用質量流量控制器常用選配項

?     后置閥門，優(yōu)化真空及背壓應用的控制

?     批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA認證1類2區(qū) / ATEX認證1類2區(qū)允許設備用于危險環(huán)境

?     9針或15針D-Sub等連接接口可選

?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

四、美國ALICAT真空應用質量流量控制器性能參數