質?量混配氣系統(tǒng)由單路或多路質量流量計控制、混合連續(xù)供氣，實現(xiàn)了氣體的質量流量精密測量和控制；結合我司各種規(guī)格型號的管式爐、CVD系統(tǒng)及退火爐等對材料、氣體流量的精確測量和控制，應用性強；具有混氣均勻，控制精度高，數(shù)顯直觀，操作靈敏等優(yōu)點。

質?量混配氣系統(tǒng)主要功能和特點：

1、質量流量計、流量顯示儀分體式連接，便于操作及使用；

2、控制精度高，響應快，極低的零漂及溫漂，良好的兼容性；

3、系統(tǒng)配有混氣罐，可單路或多路配合進氣；

4、每條氣體管路均配有安全截止閥，確保系統(tǒng)的安全可靠；

5、流量控制器的規(guī)格型號可根據(jù)要求定制；

6、采用世偉洛克卡套接頭連接，保證良好的密封性；

7、整體式爐架結構，搭配性能強，可放置我司各種規(guī)格型號的管式爐等；

8、可通過軟件支持人機交互界面，操作簡單方便；

9、預留真空系統(tǒng)位置，可選不同真空系統(tǒng)，組合搭配方便快捷。

質?量混配氣系統(tǒng)主要用途和適用范圍：

用于高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD/CVI實驗等精密氣體的流量控制。

注意：嚴禁氫氣和氧氣同時供氣，保證安全

質?量混配氣系統(tǒng)技術參數(shù)：

產品型號

HQ-Z（通過歐盟CE認證，證書編號：4635230915/4636230915）

爐體結構

雙層爐架結構，預留真空系統(tǒng)，組合性強

控制方式

質量流量計配合流量顯示儀

流量規(guī)格

0－500SCCM/0－1SLM（可根據(jù)客戶需要配置）

線性

±0.2%F.S.

準確度

±1.5%F.S.

重復精度

±1.5%F.S.

響應時間

≤8sec

耐壓

3MPa

氣路通道

多通道（根據(jù)客戶需求）

混氣罐

SUS316不銹鋼，尺寸：Φ100*200mm

閥  門

SUS316不銹鋼卡套針閥

管　道

Φ6mm無縫鋼管管

接　口

SwagelokΦ6mm

尺寸和重量

設備：530*1200*850mm （深*寬*高）；凈重   kg

標準配置

 主機1臺，說明書、合格證、保修卡各1份