橢偏儀SpecEL

SpecEL-2000-VIS 橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEL 通過PC 控制來實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測量。

橢偏儀SpecEL

SpecEL-2000-VIS 橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEL 通過PC 控制來實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測量。

集成的精確測量系統(tǒng)

SpecEL- 由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70° 的偏光器構(gòu)成， 配有一個32 位操作系統(tǒng)的PC。該橢偏儀可測量0.1nm-5um 厚的單膜， 并且折射率測量可達(dá)0.005%。

SpecE1 軟件及Recipe 配置文件

通過SpecEL 軟件，您可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計方法用于1 步分析。創(chuàng)建recipe 后，可以選擇recipe 來執(zhí)行實(shí)驗(yàn)。SpecEL 軟件截圖顯示的Psi 及Delta 值可以用來計算厚度，折射率及吸光率。

特點(diǎn)

-- 膜厚測量精度高達(dá)0.1 nm，分辨率可達(dá)1nm
-- 可以測量zui多25 層膜
-- 單層膜可以測量zui大厚度10um
-- 光譜范圍 300-1000nm
-- 標(biāo)準(zhǔn)測量點(diǎn)尺寸0.4mmx1.2mm
-- 適合測量平面，半透明的樣品，例如晶圓，玻璃，膠片和金屬薄片
-- 提供3D 繪圖附件，參考晶圓等選項(xiàng)—可以定制方案
-- 配套軟件提供了建模功能和測量模型，可以減少繁瑣的重復(fù)測量。還可以提供用于膜厚繪圖的測量軟件。
厚度范圍：1nm-10μm
分辨率：0.1nm
測量速度：7-13秒
樣品厚度：5mm（zui大）
光學(xué)分辨率：1.0nm
射束直徑：400-1200μm
角度：70°