型號(hào)

SJ-500

標(biāo)準(zhǔn)型

（選件）

測量范圍

Z1軸（檢出器）

800μm，80μm，8μm

X軸

50mm

直線度

0.2μm/50mm*1

分辨力

X軸

0.05μm

Z1軸（檢出器）

0.01μm（800μm），0.001μm（80μm），0.0001μm（8μm）

Z2軸（立柱）

——

——

驅(qū)動(dòng)速度

X軸

0-20mm/s或手動(dòng)操作

Z2軸（立柱）

——

測量速度

0.02-5mm/s

上下移動(dòng)量

連接裝置：30mm

評(píng)價(jià)輪廓

原始輪廓，粗糙度輪廓，波形輪廓，DF輪廓，粗糙度motif輪廓，波形，motif輪廓

評(píng)價(jià)參數(shù)

Ra,Rc,Ry,Rz,Rq,Rt,Rmax,Rp,Rv,R3z,Sm,S,Pc,m(rc),&c,mr,tp,Htp,Lo,Lr,Ppi,HSC,△a,△q,Ku,Sk,Rpk,Rvk,Rk,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo,λa,λq,R,AR,Rx,W,AW,,Wte　

輪廓分析

階差（平均，zui大，zui?。?，圓，角度，面積，坐標(biāo)值邊緣，傾斜角

分析圖表

負(fù)荷曲線（BAC）,振幅分布曲線（ADC），功率譜圖

曲線補(bǔ)充

拋物線補(bǔ)償，雙曲線補(bǔ)償，橢圓補(bǔ)償，圓補(bǔ)償，錐面補(bǔ)償，傾斜補(bǔ)償（曲面/任意）

濾波

2CR75，PC75，高斯魯棒樣條

截止波長

Λs

0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm，無濾波

Λc

0.025,0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

Λf

0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

取樣長度

0.025,0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm無濾波

LCD規(guī)格

7.5″帶背光的TFT液晶顯示