Gatan 697 Ilion II寬束氬離子拋光系統(tǒng)-電鏡制樣設(shè)備
產(chǎn)品介紹
【Gatan】697 Ilion II Datasheet 寬束氬離子拋光系統(tǒng)
品牌： GATAN | 名稱(chēng)型號(hào)：氬離子拋光系統(tǒng)Ilion II 697 |
制造商： GATAN公司 | 經(jīng)銷(xiāo)商：歐波同有限公司 |
Gatan 697 Ilion II寬束氬離子拋光系統(tǒng)-電鏡制樣設(shè)備功能介紹
氬離子拋光系統(tǒng)是一個(gè)用于樣品的截面制備及平面拋光的桌面型制樣設(shè)備，以便樣品在SEM及其它設(shè)備上進(jìn)行檢測(cè)分析?？衫?/span>IlionII進(jìn)行拋光加工的材料種類(lèi)十分廣泛，包括由多元素組成的試樣，以及具有不同的機(jī)械硬度、尺寸和物理特性的合金、半導(dǎo)體材料、聚合物和礦物等。如焊縫截面，集成電路焊點(diǎn)，多層薄膜截面，顆粒、纖維斷面，復(fù)合材料、陶瓷、金屬及合金、巖石礦物及其他無(wú)機(jī)非金屬等各種材料的SEM、EBSD樣品。
品牌介紹
美國(guó)Gatan公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)。Gatan公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的*性在電鏡界享有*聲譽(yù)。
作為世界領(lǐng)前的設(shè)計(jì)和制造用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能的附件廠(chǎng)商，其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球物理學(xué)、電子學(xué)，能源科學(xué)等領(lǐng)域， 客戶(hù)范圍涵蓋的科研院所，高校，各類(lèi)檢測(cè)機(jī)構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，并且在科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同。
經(jīng)銷(xiāo)商介紹
歐波同有限公司是中國(guó)領(lǐng)前的微納米技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的*，總部位于香港，分別在北京、上海、遼寧、山東等地設(shè)有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、Gatan掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備及附屬分析設(shè)備在中國(guó)地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴，公司秉承“打造國(guó)內(nèi)具影響力的儀器銷(xiāo)售品牌”的經(jīng)營(yíng)理念，與蔡司，Gatan品牌強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，正在為數(shù)以萬(wàn)計(jì)的中國(guó)用戶(hù)提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與技術(shù)服務(wù)。
產(chǎn)品主要技術(shù)特點(diǎn)
氬離子拋光系統(tǒng)采用兩支具有低能聚集的小型潘寧離子槍?zhuān)商峁┛焖偃岷偷膾伖庑Ч５椭?/span>100eV的離子束提供更柔和的拋削效果，用于樣品的拋光。新型低能聚焦電極使得離子束的直徑在幾乎整個(gè)加速電壓范圍內(nèi)都保持恒定。每個(gè)槍都可準(zhǔn)確獨(dú)立地將離子束對(duì)中在樣品上，從而產(chǎn)生*的離子拋光速率。在操作過(guò)程中，可隨時(shí)改變槍的角度。通過(guò)控制氣體流量可將槍電流變化范圍控制在0~100mA之間。在觸摸屏上通過(guò)手動(dòng)或者自動(dòng)方式調(diào)節(jié)氣體流量使每個(gè)槍的工作電流得到至優(yōu)化。
集成的10英寸彩色觸摸屏計(jì)算機(jī)可對(duì)Ilion II的所有操作參數(shù)進(jìn)行*控制。此界面不僅可以設(shè)定所有參數(shù)并能夠監(jiān)控拋光過(guò)程。所有的操作參數(shù)還可以存為配方，調(diào)用配方可獲得高精度重復(fù)實(shí)驗(yàn)。
渦輪分子泵搭配兩級(jí)隔膜泵保證了超潔凈環(huán)境。Gatan專(zhuān)項(xiàng)的氣動(dòng)控制Whisperlock技術(shù)能實(shí)現(xiàn)快速樣品交換（< 1分鐘），省去了換樣過(guò)程中必須*泄真空至大氣的煩惱。
1. 氣鎖裝置實(shí)現(xiàn)快速樣品交換、始終保持潔凈的高真空狀態(tài)
2. 10英寸觸摸屏可對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行*控制與監(jiān)測(cè)
3. 配方模式的控制界面，用于一鍵操作
4. 質(zhì)量流量控制器提供精確和可重復(fù)的氬離子電流的控制
5. 槍電壓范圍為100V到8000V的三元（陰極、陽(yáng)極與聚焦極）構(gòu)造潘寧離子槍
6. 每個(gè)槍的拋光角度可調(diào)范圍為-10度~10度，增量為0.1度
7. 扇形拋光角度可變且可程序化，范圍從10度~90度
8. 離子槍無(wú)需零件更換，壽命超過(guò)30,000小時(shí)
9. Gatan專(zhuān)項(xiàng)的樣品/擋板配置，裝樣簡(jiǎn)單，再次拋光位置準(zhǔn)確
10. *的離子束調(diào)制功能，可進(jìn)行扇形拋光和平面拋光
11. 潔凈的真空系統(tǒng)，分子泵與隔膜泵搭配
12. 操作簡(jiǎn)單，維護(hù)方便
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：
1、 離子槍：兩個(gè)配有稀土磁鐵的三元構(gòu)造（陰極、陽(yáng)極與聚焦極）潘寧離子槍?zhuān)劢闺x子束設(shè)計(jì),高性能無(wú)耗材
2、 拋光角度： +10° 到 -10° ，每個(gè)離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)
3、 離子束能量：100 V 到 8.0 kV
4、 離子束流密度：10 mA/cm2 峰值
5、 拋光速度：300 μm/h（8.0 kV條件下對(duì)于硅試樣）
4.2樣品臺(tái)
6、 樣品裝載： Ilion專(zhuān)項(xiàng)的樣品擋板, 裝樣簡(jiǎn)單，再次拋光位置準(zhǔn)確，可重復(fù)使用，配合Sample Stub可直接轉(zhuǎn)至SEM中觀(guān)察
7、樣品旋轉(zhuǎn)：0.5到6 rpm連續(xù)可調(diào)
8、束流調(diào)制：*的離子束調(diào)制功能，可進(jìn)行扇形截面拋光（扇形角度為10到90度可調(diào)）和平面拋光。
9、樣品觀(guān)察：數(shù)碼變焦顯微鏡，配有PC及Digital Micrograph軟件采集圖像，通過(guò)Gatan Digital Micrograph軟件可進(jìn)行實(shí)時(shí)成像（300x–2,200x）與圖像存儲(chǔ)和分析
10、液氮冷臺(tái)：配置液氮冷臺(tái)，樣品低溫度可達(dá)-120°C,有效減少離子束對(duì)樣品造成的損傷
4.3真空系統(tǒng)
11、干泵系統(tǒng)：兩級(jí)隔膜泵支持80升/秒的渦輪分子泵
12、壓力：5x10-6 托基本壓力，8.5x10-5托工作壓力
13、真空規(guī)：冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用于前級(jí)機(jī)械泵
14、樣品空氣鎖： *的Whisperlok設(shè)計(jì)，樣品更換時(shí)間<1Min，無(wú)需破樣品室真空
4.4用戶(hù)界面
15、10 英寸觸摸屏： 操作簡(jiǎn)單，且能夠*程序化控制所有參數(shù)可進(jìn)行配方操作。
16、配方操作模式：自定義不同的加工參數(shù)組合，實(shí)現(xiàn)一鍵操作。
產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域：
EBSD樣品制備
截面樣品制備
金屬材料（合金，鍍層）
石油地質(zhì)巖石礦物
光電材料
化工高分子材料
新能源電池材料
電子半導(dǎo)體器件
