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晶圓鍵合機

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英國AML  晶圓粘合機    WWW.AML.CO.UK 
AML("Applied Microengineering Ltd")公司成立于1992年。公司坐落于英國牛津哈威爾科學園,主要從事原位晶圓鍵合設備生產(chǎn),并在擁有數(shù)百億英鎊現(xiàn)代化設備的BONDCENTER的支撐下,為客戶服務鍵合相關服務工作。
公司生產(chǎn)的對準鍵合機是目前市場上能夠?qū)崿F(xiàn)在同一設備上完成原位對準、激發(fā)、鍵合的設備,是MEMS,IC,和III-V鍵合工藝的選擇。在實現(xiàn)原位鍵合的同時,該設備也被用于壓紋、印壓、納米 壓印及其它圖形轉(zhuǎn)移技術。可用于科研,并具有適合批量生產(chǎn)的全自動設備。
AML BONDCENTER為客戶提供了制作鍵合基底,鍵合器件及3D集成和芯片級封裝的場所。
AML鍵合機
晶圓對準鍵合機,廣泛應用于MEMS器件,晶圓級封裝技術(WLP),*真空封裝基底,TSV 3D互聯(lián)工藝等

AML鍵合機具有的原位晶圓對準鍵合技術:
? 原位激發(fā),對準及鍵合,一站完成.
? 鍵合對準精度可達1 um.
? 適合多種鍵合方式,包括:
  -陽極鍵合
  -共晶鍵合
  -玻璃漿料鍵合
  -熱壓鍵合
  -直接鍵合(高溫 & 低溫)
  -粘附劑鍵合(UV 固化 & 紫外固化)
? 鍵合作用力智能控制.
? 圖像采集功能,用于識別背面對準標記.
? 芯片或晶圓尺寸范圍為 2"-12".


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