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日本富士熱導(dǎo)式氣體分析儀

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測量H2、Ar、He氣體濃度的熱導(dǎo)式氣體分析儀

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特點

  • 清晰易見的大形LCD顯示
  • 可與計算機通信
  • 小型的面板安裝結(jié)構(gòu)
  • 零點、滿量程點的自動校正功能(選配件)
  • 可對其它氣體的干涉影響進行補償運算(選配件)
  • 氣體濃度報警輸出(選配件)
    可任選上·下限報警、上·上限報警、下·下限報警輸出中的某一項
  • 量程切換(選配件)
    通過正面鍵盤操作的切換方式或通過外部接點輸入的切換方式。
    量程比:測量H2、He                  zui大為1:10
                    測量Ar、CH4、CO2     zui大為1:5
  • 測量輸出信號的線性化(選配件)

用途

  • 半導(dǎo)體裝置的H2氣體濃度測量
  • 氫氣發(fā)生裝置的H2氣體濃度測量
  • 燒結(jié)爐的H2氣體濃度測量
  • 煤氣發(fā)生設(shè)備的Ar、He、CH4濃度測量
  • 超導(dǎo)裝置的He氣體濃度測量
  • 空氣分離設(shè)備的Ar氣體濃度測量
 
測量原理

熱導(dǎo)式氣體分析儀是利用2種組分氣體不同的熱導(dǎo)率來測量氣體濃度。檢測器內(nèi)部有參比室和測量室,內(nèi)部分別張緊著細鉑絲。參比室內(nèi)密封著參比(基準(zhǔn))氣體。鉑絲與外部定值電阻組合,形成電橋回路,恒定電流分別流過各鉑絲,使之發(fā)熱。被測組分中若濃度有變化,則試樣氣體的熱導(dǎo)率會隨之變動,從而使測量室鉑絲的溫度發(fā)生變化。將這種溫度變化以電阻值變化的形式取出,就可以計算出被測氣體的濃度。
 
主要規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 測量方式 熱傳導(dǎo)式
測量組分 He、Ar、H2、CH4、CO2
測量范圍 H2:0~3……100%,100~90,100~80%
He:0~5……100%,100~90,100~80%
Ar:0~10……100%,100~90,100~80%
CH4:0~20……100%,100~80%
輸出信號 DC4~20mA、DC0~1V、DC0~10mV 非隔離輸出(其中某一點,根據(jù)型號)
容許負載電阻 不超過550(DC4~20mA輸出時)
輸出電阻 100k(DC0~1V、DC0~10mV時)
顯示器 帶背光LCD
測量值顯示 zui多4位或小數(shù)點后帶2位
輸出信號保持 手動校正、自動校正時保持校正前的輸出值
電源電壓、功耗 AC100~240V 50/60Hz、約50VA
環(huán)境溫度、濕度 -5~45℃、不超過90%RH(應(yīng)無結(jié)露)
安裝方法 面板嵌入型
外形尺寸(H×W×D) 240×192×213mm
重量 約5kg
外殼類型 鋼板制外殼、室內(nèi)型
氣體出入口、換氣口 Rc1/4或NPT1/4(根據(jù))
換氣氣體的流量 約1L/min(根據(jù)需要進行)
適用標(biāo)準(zhǔn) CE標(biāo)記(預(yù)定取得認證)
性能 重復(fù)性 ±1%FS
漂移 零點:±2% FS/周 以內(nèi)(H2分析儀)
滿量程點:±2% FS/周 以內(nèi)(H2分析儀)
響應(yīng)速度(90%響應(yīng)) 標(biāo)準(zhǔn):60秒以內(nèi)(0.4L/min流量)
高速:10秒以內(nèi)(1L/min流量)
但*H2分析儀(參比氣為N2
標(biāo)準(zhǔn)測量氣體條件 溫度 0~50℃
氣體流量 0.4±0.05 L/min 且應(yīng)穩(wěn)定
塵埃 不超過1µm的微粒, 不超過100µg/Nm3
壓力 不超過10kPa
氣霧、腐蝕性氣體
水分 不超過2℃飽和
選配件規(guī)格 線性化 對測量值輸出信號(DC4~20mA)附加線性化
直線度不超過 ±2%FS
繼電器接點輸出 5點的1a輸出
繼電器接點容量:AC220V/2A(阻性負載)
各接點間以及與內(nèi)部電路之間為繼電器隔離
以下功能zui多可選擇5項
  1. 自動校正用零點電磁閥驅(qū)動輸出
  2. 自動校正用滿量程電磁閥驅(qū)動輸出
  3. 自動校正時吸氣泵OFF輸出
  4. 上限(1點)濃度報警輸出
  5. 下限(1點)濃度報警輸出
  6. 上下限(1點)濃度報警輸出
  7. 上限(1點)及下限(1點)濃度報警輸出
  8. 上限2段(各1點)濃度報警輸出
  9. 下限2段(各1點)濃度報警輸出
  10. 分析儀異?;蜃詣有U惓缶敵?/li>
  11. 校正中輸出
  12. 量程信息輸出
接點輸入 3點無電壓接點輸入
ON:0V、OFF:DC5V、ON時電流5mA
與內(nèi)部電路為光耦合器隔離、接點輸入之間為非隔離
可輸入以下3點
  1. 遠程測量值輸出保持
  2. 遠程量程切換(*雙量程分析儀)
  3. 遠程自動校正開始
干涉氣體測量值輸入

H2分析儀干涉用模擬量輸入(DC1~5V)
輸入外部氣體分析儀的CO2或CH4中某一組分。
需要在本公司的工廠進行調(diào)整。訂貨時確認被測氣體的詳細情況。

自動校正功能 按照事先設(shè)定的周期自動進行零點、滿量程的校正。驅(qū)動設(shè)置在外部的電磁閥,校正氣體即依次流動。
通信功能

RC232C(9針D-sub輸出)
半雙工比特連續(xù)異步周期式
MODBUS協(xié)議、通信速度9600bps
通信內(nèi)容:測量濃度值、各種設(shè)定值的讀寫、儀表狀態(tài)輸出


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