ZLM800是德國Jenaer公司生產(chǎn)的新一代激光干涉儀。通過把性能穩(wěn)定的氦氖氣體激光與電子電路相結(jié)合，而制造出新型的干涉儀測量系統(tǒng)。
配備的可編程ASIC裝置，可根據(jù)用戶的要求，提供個(gè)性化測量系統(tǒng)方案。
ZLM800激光干涉儀廣泛應(yīng)用于單一校準(zhǔn)系統(tǒng)、多軸定位系統(tǒng)及快速動力學(xué)控制系統(tǒng)。它可以測算出機(jī)械設(shè)備的動力學(xué)行為，通過WINDOWS軟件，按用戶設(shè)定的工作方式對其進(jìn)行分析。
ZLM800激光干涉儀配有一個(gè)模塊化系統(tǒng)超級蔡司光學(xué)鏡頭，為用戶使用激光干涉儀進(jìn)行測量提供了*的解決方案：
| | - 位置
- 距離
- 速度
- 加速度
- 角度
- 振動
- 直度
- 垂直度
- 平坦度
- 整齊度
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工作模式
型ZLM800激光干涉儀使用氦氖氣體激光，在雙頻外差中工作。 激光熱穩(wěn)定性為0.002 ppm，兩種模式下640MHz擊打頻率相當(dāng)于信號處理能力的四倍。這種高頻處理信號可以對運(yùn)動速度非常塊的物體進(jìn)行測量而無干擾誤差，信號延時(shí)非常短。
通過光纖電纜來傳輸干涉儀光學(xué)鏡頭到PC插槽上電子計(jì)數(shù)器電路信號，可防止外部電磁環(huán)境的干擾。因此ZLM800特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)測量環(huán)境及高真空環(huán)境。
作為PC插槽的替代品，可使用獨(dú)立的數(shù)據(jù)處理電子單元。它帶有多個(gè)接口，用于數(shù)據(jù)輸出、連接閉環(huán)控制回路。該型號的干涉儀可以擴(kuò)展為五軸測量。
產(chǎn)品特點(diǎn) - 被測物體zui大速度16m/s
- 無干擾誤差時(shí)的分辨率2.5nm（帶平面鏡干涉儀時(shí)為1.25nm）
- 無加速度限制
- 即使非常低的光線水平，探測信號也十分穩(wěn)定
- 信號延時(shí)<200 ns
- 激光壽命內(nèi)，頻率穩(wěn)定
- 對電磁干擾不敏感
- 適用于在高真空中使用的超級蔡司光學(xué)鏡頭
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可靠性測量方法
使用相關(guān)的測量軟件及簡單的操作，ZLM800干涉儀可完成可靠穩(wěn)定的測量任務(wù)，它*符合ISO9000/9004標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。
ZLM800系統(tǒng)增加了測量的可靠性和穩(wěn)定性
世界范圍內(nèi)，ISO9000/9004是產(chǎn)品質(zhì)量控制管理的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，嚴(yán)格根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)來進(jìn)行的質(zhì)量檢測，可以保證任何制造企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的性能。
測量的穩(wěn)定性由測量工具、測量方法和操作者等多方面因素決定，測量系統(tǒng)的標(biāo)定誤差會*影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
通過一種新的測量助手軟件可以zui大限度減小整個(gè)測量系統(tǒng)的調(diào)整誤差。兩個(gè)四象限傳感器置于激光測量鏡頭內(nèi)， 一個(gè)用作測量光束，一個(gè)用作參考光束，從而保證了干涉儀系統(tǒng)能夠以*的工作方式與被測的物體相適應(yīng)。由于使用了大屏幕顯示，因此干涉儀的自適應(yīng)能力會非常靈敏。
使用調(diào)整助手的優(yōu)點(diǎn)
- 系統(tǒng)調(diào)整精度顯示的建立時(shí)間zui小化
- 即使在zui復(fù)雜的設(shè)置環(huán)境中，激光頭的自調(diào)整能力也非常強(qiáng)
- 在zui高穩(wěn)定性的情況下來完成測量任務(wù)
智能化測量方法
ZLM800信號處理電路是以可編程ASIC裝置為基礎(chǔ)的。在測量工作中，不同信號之間的相互作用沒有影響。
ZLM800可以與外部第二個(gè)計(jì)數(shù)系統(tǒng)相連接，這就使得被測設(shè)備和激光測試儀之間的比較變成一個(gè)路徑、節(jié)約時(shí)間。該過程使用實(shí)時(shí)信號偶合，按照德標(biāo)或標(biāo)準(zhǔn)對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。
激光測試儀作為zui準(zhǔn)確三維測量工具，測量數(shù)據(jù)易于記錄，不易丟失。這些優(yōu)點(diǎn)使得ZLM800激光測試儀是機(jī)械設(shè)備校準(zhǔn)和鑒定使用德理想選擇。
測量控制標(biāo)準(zhǔn)
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617
NMTBA
精準(zhǔn)的測量方式
在環(huán)境條件（特殊情況下的物質(zhì)溫度）通過AUK500自動環(huán)境補(bǔ)償儀（氣象站）*記錄下來，并且周圍環(huán)境情況與測量室內(nèi)條件*的情況下。即使是標(biāo)準(zhǔn)的配置，ZLM800激光測試儀的分辨率也能夠達(dá)到5nm，測量誤差優(yōu)于1µm/m。
使用ZLM800激光干涉儀，使對機(jī)器設(shè)備和比較儀的長度測量校準(zhǔn)變得更為容易和簡單。
 | | 周圍環(huán)境對測量結(jié)果的影響可通過AUK500自動環(huán)境補(bǔ)償儀或手工輸入來修正。zui多可使用5個(gè)物質(zhì)溫度傳感器來補(bǔ)償被測物體的線性偏移。 |
簡便的測量方式
ZLM800激光干涉儀帶有WINDOWS™數(shù)據(jù)分析軟件，長度測量精度極為準(zhǔn)確，而且對數(shù)據(jù)的分析也極為方便。 可隨意登陸測量數(shù)據(jù)、表格和圖表，并且可充分利用WINDOWS™程序的各種優(yōu)勢。無論是測量位置、角度或者是直線度，由Carl Zeiss設(shè)計(jì)的軟件可以集成到任何的微軟WINDOWS™系統(tǒng)中。測量、分析、記錄和數(shù)據(jù)存檔過程都可在短時(shí)間內(nèi)輕松的完成。
在程序設(shè)計(jì)的過程中，用戶zui關(guān)心的一個(gè)問題是測量結(jié)果的記錄。集成式記錄編輯器使得編輯和打印某個(gè)圖表、表格和用戶的內(nèi)容更為容易。所有記錄的內(nèi)容都可通過剪貼板上的中間編輯器來導(dǎo)出到文字處理器中。
 | | 在準(zhǔn)備和測量的過程中，zui重要的信息項(xiàng)目信息都會顯示出來。使用鼠標(biāo)或很少的幾個(gè)按鍵，就可進(jìn)入所有的功能程序中。 |
| 要測算和分析測量的數(shù)據(jù)，通過簡單的操作，就可生成各種圖形和表格，甚至某些極小的細(xì)節(jié)都可囊括進(jìn)去。 | |  |
 | | 測量的數(shù)據(jù)可以在文檔卡中存檔。通過卡片標(biāo)簽，可以對某些特殊數(shù)據(jù)進(jìn)行快速檢索，甚至從大量數(shù)據(jù)中進(jìn)行檢索。 |
本干涉儀的優(yōu)勢性能 | 測量 | 校準(zhǔn)、定位、對齊 - 機(jī)械誤差補(bǔ)償
- 主軸導(dǎo)線誤差補(bǔ)償
- 螺距誤差補(bǔ)償
| 控制 - 運(yùn)動分析
- 動態(tài)行為
- 誤差補(bǔ)償
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ZLM800雙頻激光干涉儀技術(shù)參數(shù) | 真空中氦氖激光平均波長 | 632.8 nm |
| 波長穩(wěn)定性 | 2*10-9 一個(gè)小時(shí) 2*10-8 壽命周期內(nèi) |
| 激光束直徑 | 6mm （可選3.2mm） |
| 應(yīng)急擴(kuò)展激光束zui大輸出 | 1mW |
| 每束激光測量軸數(shù)量 | 1, zui多可選擇6個(gè) |
| 距離的測量范圍 | 130英尺，zui多可選390英尺 |
| 角度的測量范圍 | ±15°，長度zui大65英尺 |
| 直線度的測量范圍 | ±0.195英寸， 長度6.5英尺，或32.5英尺 |
| zui大速度 | |
| 線性 | <4m/s，可選16m/s |
| 角度 | <320 rad/s |
| 距離的分辨率 | |
| 立體角鏡干涉儀 | 2.5nm （可選0.3nm） |
| 平面鏡干涉儀 | 1.25nm （可選0.1nm） |
| 非線性度 | |
| 立體角鏡干涉儀 | ± 1.25nm |
| 平面鏡干涉儀 | ± 0.62nm |
| 角度的分辨率 | 0.62*10-7rad |
| 直線度的分辨率 | 145 nm，32.5時(shí) 29 nm， 6.5英尺 |
| 接口 | 正交信號 32bit（實(shí)時(shí)時(shí)間） Δt≈20ns |
| 內(nèi)部環(huán)境 | 15°C ... 30°C 光學(xué)/高真空 |
