| 參考價 | 面議 |
此型工業(yè)用臺階儀基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。該儀器 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。
產(chǎn)品主要特點：
1. 采用直動式檢出器，測量穩(wěn)定
2. 重復(fù)性及再現(xiàn)性
3. 低測定力采用
a. 測定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內(nèi)任意設(shè)定
b. 可測量柔軟性質(zhì)表面
4. 真實能見度
基本參數(shù)配置：
一、樣品臺：
1. 樣品臺尺寸：φ160mm
2. 工件尺寸：φ200mm
3. 工件厚度：52mm
4. 工件重量：2kg
5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁
7. 手動旋轉(zhuǎn)：360°(手動粗調(diào))、±5°(微調(diào)，最小約0.5°)
二、傳感器（pick up）：
1. 原理：直動式傳感器 （業(yè)界）
2. Z方向測定范圍：Max. 600μm
3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時)
4. 測定力： 10uN ~500uN
5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）
6. 驅(qū)動方式：直動式
7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)
三、X 軸 (基準軸/測量軸)：
1. 移動量(測長)：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復(fù)誤差：±5um
四、Z軸：
1. 移動量：54mm
2. 移動速度：max.2.0mm/S
3. 檢出器自動停止機能
五、Y軸：（手動定位用）
1. 移動量：25mm（±12.5mm）
六、工件觀察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率
2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時)
3. 視野：1.2*0.9mm
4. 觀察方向：右側(cè)斜視
5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）
更多型號及各類不同特殊應(yīng)用請隨時咨詢我司人員進行交流咨詢，以便提供給您更加精準的型號配置推薦。
產(chǎn)品主要特點：
1. 采用直動式檢出器，測量穩(wěn)定
2. 重復(fù)性及再現(xiàn)性
3. 低測定力采用
a. 測定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內(nèi)任意設(shè)定
b. 可測量柔軟性質(zhì)表面
4. 真實能見度
基本參數(shù)配置：
一、樣品臺：
1. 樣品臺尺寸：φ160mm
2. 工件尺寸：φ200mm
3. 工件厚度：52mm
4. 工件重量：2kg
5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁
7. 手動旋轉(zhuǎn)：360°(手動粗調(diào))、±5°(微調(diào)，最小約0.5°)
二、傳感器（pick up）：
1. 原理：直動式傳感器 （業(yè)界）
2. Z方向測定范圍：Max. 600μm
3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時)
4. 測定力： 10uN ~500uN
5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）
6. 驅(qū)動方式：直動式
7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)
三、X 軸 (基準軸/測量軸)：
1. 移動量(測長)：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復(fù)誤差：±5um
四、Z軸：
1. 移動量：54mm
2. 移動速度：max.2.0mm/S
3. 檢出器自動停止機能
五、Y軸：（手動定位用）
1. 移動量：25mm（±12.5mm）
六、工件觀察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率
2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時)
3. 視野：1.2*0.9mm
4. 觀察方向：右側(cè)斜視
5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）
更多型號及各類不同特殊應(yīng)用請隨時咨詢我司人員進行交流咨詢，以便提供給您更加精準的型號配置推薦。
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