總體規(guī)格特點(diǎn):

  l 重量:  60kg  

  l 尺寸:  580mm寬x520mm深x700mm高 

  l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長時(shí)間舒適的操作。

針座臺(tái)面規(guī)格:

  l U型固定臺(tái)面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì)，平整度：±3μm

載臺(tái)規(guī)格：

  l 6英寸真空吸附樣品臺(tái)，提供氣源，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm，真空吸附尺寸150mmx150mm

l 樣品臺(tái)X-Y移動(dòng)平臺(tái)，行程150mmx150mm，微調(diào)精度為1μm，無回差線性調(diào)節(jié)

l 樣品臺(tái)Y方向快速推進(jìn)抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品  

l 樣品臺(tái)Z方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)精度為1μm

l 樣品臺(tái)水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，并微調(diào)±10°，微調(diào)精度0.01°

l 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，可接地或加載背柵電壓。

顯微鏡操控規(guī)格:

l 顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍50mmX50mm，精度1μm

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm

l 顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換鏡頭，避免鏡頭切換時(shí)撞針。

應(yīng)用場景：

  l 直流IV/CV測試  

  l Pulse IV測試

  l 阻抗測試

  l 時(shí)域分析測試

  l 有源射頻測試

  l 無源射頻/微波測試。