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Park Systems原子力顯微鏡 XE-15

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Park Systems原子力顯微鏡 XE-15, 具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺(tái)設(shè)計(jì),為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測(cè)試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器,消除了彎曲效應(yīng)誤差,提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式,擴(kuò)大了適合樣品種類(lèi),同時(shí)極大地延長(zhǎng)了探針壽命,降低了使用成本。

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Park Systems原子力顯微鏡 XE-15

儀器簡(jiǎn)介:

    Park XE-15具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺(tái)設(shè)計(jì),為不同尺寸、形狀、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測(cè)試環(huán)境。解耦合的閉環(huán)XY掃描器,消除了彎曲效應(yīng)誤差,提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式,擴(kuò)大了適合樣品種類(lèi),同時(shí)極大地延長(zhǎng)了探針壽命,降低了使用成本。

 

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15技術(shù)參數(shù):

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm(可選50μm*50μm)

平面偏移度:<2nm(40μm*40μm掃描)

 

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器

掃描范圍12μm(可選25μm)

共振頻率:>5kHz

表面成像噪聲:0.03nm

 

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)種類(lèi):16位點(diǎn)樣品臺(tái)/150mm直徑真空吸附臺(tái)(可選200mm直徑真空吸附臺(tái))

樣品尺寸: 150mm*150mm*20mm

樣品重量:zui大500g

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:150mm*150mm(可選200mm*200mm)

 

主要特點(diǎn):

 

一、創(chuàng)新的多位點(diǎn)樣品臺(tái)設(shè)計(jì),提供工作效率

●一次操作zui多可以掃描16個(gè)樣品

●樣品安放簡(jiǎn)單,掃描迅速

●極大提高了數(shù)據(jù)的精確性和重復(fù)性

 

二、支持超大樣品,滿足業(yè)界發(fā)展需要

●zui大支持200 mm晶圓,滿足用戶(hù)目前和今后的需要

●滿足半導(dǎo)體相關(guān)用戶(hù)實(shí)際需要的專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)

 

三、豐富的功能模式選擇

●完善支持各種SPM功能

●支持多種選配測(cè)量模式

●支持各種可選配件,擴(kuò)展性能



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