非接觸式膜厚測量儀EA-160產(chǎn)品描述:◆高速度、高精度測量系統(tǒng)◆160mm×160mm范圍測量◆透明材質(zhì)穿透測量◆測量膜厚、線寬、平面度等◆多程序自由切換

非接觸式膜厚測量儀 EA-160 

產(chǎn)品描述:

◆高速度、高精度測量系統(tǒng)

◆160mm×160mm范圍測量  

◆透明材質(zhì)穿透測量  

◆測量膜厚、線寬、平面度等 

 

◆多程序自由切換，方便靈活

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技術(shù)： 

◆采用白光共焦技術(shù)，分辨率達(dá)到5nm，量程13mm 

◆0-160mm運動精度達(dá)到微米級，X、Y方向無機械接觸，采用全閉環(huán)反饋系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度測量 

◆高精度、高分辨率CCD系統(tǒng)，結(jié)合effecttek軟體算法，支持影像定位輔助系統(tǒng) 

應(yīng)用： 

◆厚膜電路測量

◆晶圓涂膠測量 

◆LTCC膜厚、線寬測量 

◆MEMS測量 

◆透明材質(zhì)測量 

◆太陽能面板測量 

設(shè)備技術(shù)參數(shù):